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废气处理案例

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萍乡某微电子半导体体酸碱废气处理案例

1.1 项目概况

本项目运营期间电镀过程中产生的甲基磺酸雾,为减少酸雾对周围环境影响,需对产生的甲基磺酸雾进行收集集中治理。

根据按环评资料,电镀过程中产生甲基磺酸雾产生总量为 7.14t/a

根据现场情况和环评要求,采用集气管收集+碱液喷淋塔+排气筒高空排放的工艺来治理。


1.2 处理工艺



根据甲基磺酸雾的物理特性:甲基磺酸是易溶于水的物质,对氢氧化钠也能产生化学中和反应。根据甲基磺酸雾的物理特性和环评要求,甲基磺酸雾采用喷淋塔来吸收净化治理,其工艺流程图如下所示:

(酸、碱洗)喷淋塔技术原理

洗涤塔为填料吸收塔,塔内气体通过风机由下向上送入。在一定的温度和压力下,水由循环泵打入塔顶,塔内特有的布液装置使吸收液均匀向下喷淋,溶液能达到雾化状态,形成逆流吸收效果。

酸洗喷淋塔酸洗净化,可以去除废气中的碱性成分、颗粒物以及其他水溶性杂质。废气中的碱性物质与附着在填料表面的酸性液体相接触进行中和反应,以达到净化废气的目的。当吸收了一定量的杂质后,会达到饱和状态,须向洗涤塔中的饱和酸液中加入稀硫酸以确保进一步清除杂质。

碱洗喷淋塔碱洗净化,通常放在酸洗之后,可以去除废气和上一级洗涤中的酸性成分、颗粒物以及其他水溶性杂质。废气中的酸性物质与附着在填料表面的碱性液体相接触进行中和反应,在循环液趋于饱和状态时需要添加片碱以维持处理效果。

喷淋塔外型为圆形式塔体,配有自动补水口、检修口<带有机玻璃视镜>、供液口、排放口等功能,操作、维护管理十分方便。通过视镜随时可以观察和检查运行情况,主要是喷嘴的工作状况,可以通过检修孔很方便地及时检修和排除故障。内置环形喷淋和填料反应层,底部为循环液配液箱、自动补水口、排放口和循环喷淋泵。循环液喷淋泵为立式离心耐腐蚀泵。故这样的结构设计,占地面积小、功能配置齐全,便于操作和维护管理。


1.2.1 废气收集

废气的收集根据现场情况,生产工艺上都预留了规格为¢200mm的排气口(排气口数量:22个),通过风管将所有排气口连接起来,再一起被输送到总风管内,再被输送到喷淋塔内进行吸收净化,净化后的废气通过烟囱高空排放。

根据环评和业主要求,废气风量按50000m3/h进行设计。

现场照片如下图所示:



1.3 工程案例图片


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